21 강의04강-LIGA[1]

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Unformatted text preview: LIGA LIGA -- introduction introduction ¡ LIGA(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) ¡ 정의 : X선 (0.2~1 nm)을 이용한 깊은 lithography, 전기도금으로 높은 형상비 ¡ 참고 : 자외선 = 200~300 nm ¡ 역사- 1975년 IBM 에서 Romankiw가 “ LIG ” (A=molding 제외). X선으로 패턴한 resist에 20 µ m gold를 도금- 1982년 독일의 칼수루 핵연구 센터에서 Ehrfeld가 “LIGA”. 방사성 동위 원소 를 분리하기 위한 초소형 노즐을 LIGA공정으로 제작- 이후 미국의 Guckel이 반도체 분야의 표준공정으로 발전시킴. ¡ LIGA 공정 ¡ 식각 (LIthograpie = lithography) ¡ 도금 (Galvanoformung = electroforming) ¡ 사출 (Abformung = molding) LIGA – – overview overview LIGA is a German acronym meaning Absorber structure Synchrotron Mask membrane Resist Substrate irradiation Development Electroforming Mould insert Mould filling Mould separation Plastic structure Mould cavity Resist structure Metal Substrate LIGA...
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