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Unformatted text preview: MEMS Fabrication MEMS Fabrication 종류 종류 ¡ Bulk Micromachining ¡ Wafer 자체를 식각하여 가공하는 공정 ¡ 두께방향 Dimension이 크다 (수 um ~수백 um) ¡ Surface Micromachining ¡ Wafer 상에 박막을 증착하고 패턴에 따라 식각하여 가공 하는 공정 ¡ 반도체 공정에 기반을 두고 있음 ¡ 두께방향 Dimension이 작다 (수백Å~수 um) ¡ 10 Å (angstrom) = 1 nm ¡ 기타 공정 ¡ Bonding , Laser Micromachining LIGA , Test & Measurements Bulk micromachining Bulk micromachining ¡ 정의 : 몸체미세가공. pit (cavity), trench 또는 실리콘 웨 이퍼를 관통하여 구조물을 만듦 ¡ Bulk micromachining 기술 ¡ 습식식각 – KOH, TMAH, EDP, 등방성, 이방성 식각 ¡ 건식식각 – RIE (Reactive Ion Etching) Bulk micromachining Bulk micromachining ¡ Bulk micromachining : 몸체미세가공기술. 실리콘 재질의 결정방향에 따른 등방성/이방성, 화학적/물리적 식각을 이용하여 기판 자체를 가공 하는 기술. Bulk micromachining Bulk micromachining ¡ Bulk micromachining Example (nozzle) Mechanism of Etching Process Mechanism of Etching Process ¡ 식각 방법 ¡ 습식 식각 : 액체상태의 식각 반응물질 ¡ 건식 식각 : 이온화된 증기나 플라즈마 상태의 식각 반응물질.건식 식각 : 이온화된 증기나 플라즈마 상태의 식각 반응물질....
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This note was uploaded on 01/20/2010 for the course ME master taught by Professor Mon during the Spring '09 term at Hanyang University.

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