18 강의01강-mems개요역사[1]

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Unformatted text preview: 200 년 학기 담당교수 : 김 강의 순서 ¡ 1장 : MEMS 개요 , 역사 ¡ 장 : Bulk Micromachining ¡ 장 : Surface Micromachining ¡ 장 : LIGA 참고 문헌 ¡ Gregory T.A. Kovacs, “Micromachined Transducers, Sourcebook”, McGraw Hill, 1998 ¡ Marc Madou, “Fundamentals of Microfabrication”, CRC Press, 1997 ¡ Julian W. Gardner, Vujay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim, “Microsensors MEMS and Smart Devices”, Wiley, 2001 강의 1. Introduction to MEMS ᆞM icro E lectroM echanical S ystems Batch Fabrication (예:IC Technology) 에너지 변환 : Electrical <-> non-electrical 궁극적 목표: Solutions to real problems, not just devices ¡ MEMS 정의 ¡ 광스위치(DMD), micro pump ¡ 가속도계, 촉각센서 MEMS device & system AMA (대우전자) 자이로스코프 (삼성) 가속도계 device (Aeromems) 가속도계 system (MEMSIC) MEMS device & system SPDT RF Switch (AeroMEMS) 캡슐형 내시경 (KIST) Lab on a Chip ¡ 미세전기기계시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems) ¡ 전기(Electrical)와 기계( Mechanical) 요소의 결합. ¡ MEMS 소자는 복합 분야 기계(구조,유체,열)+전기(정전력,자기장,초고주파)+화학+의학+……… ¡ 집적회로(IC)의 공정기술과 호환. ¡ 반도체(IC) 제작기술을 기반 (차이점:부유기술) ¡ 대량 생산 (Batch-process) ¡ 크기 : μm - mm MEMS 정의 및 성격 ¡ 초기투자비용이 많은 장치 산업 예) e-beam 20억, implanter 10억 , furnace 10억 ¡ 초기 공정개발에 장시간 소요 ¡ 장비선택 (예, etcher : chemical, physical) ¡ 공정조건 (온도, 압력, power, 공정시간 등) ¡ 일단 공정이 확립되면 신뢰성 및 재현성이 우수 ¡ 저비용 제품 생산 가능 (Batch processing) ¡ 고성능(?) 제품 생산 가능 ¡ 군용에서 일반소비재까지 넓은 응용 분야 ¡ 반도체 집적회로와 유기적 결합 MEMS 산업 특징 Furnace (반공연) ¡ 초소형, 대량생산 Æ 크기, 단가, 소비전력 감소 ¡ 기계소자 (sensor, actuator) 와 전자회로 (IC) 를 한 칩에 집적 Æ 높은 신뢰도 , 제작단가 절감 ¡ 초소형 소자 Æ 미량의 물질로 분석 가능 , 다수의 소자를 집적하 여 분석시간 절약 (BioMEMS, LOC) ¡ 성숙한 (Matured) 반도체 기술을 이용 ¡ 현재 MEMS 는 화학 , 생물 , 의학 , 기계 , 전자 분야에서 응용 , 앞으 로 응용분야의 더욱 확대 MEMS 장점 MEMS 기술 ¡ 리소그래피 (Lithography) = 패턴 전사 ¡ 감광제 (PR, Photoresist) ¡ 마스크 (e-beam, 에멀젼) ¡ 정렬 (Aligning) ¡ 자외선 조사 ¡ 상의 재현 (Pattern Transfer) ¡ 미세가공 (Micromachining) = 마이크로 구조물 제작 ¡ Bulk Micromachining ¡ Surface Micromachining ¡ LIGA ¡ 패키징 (Packaging) = 제품의 성능 및 내환경성 (진공=vacuum, 밀봉 =encapsulation, 방습, …… ) ¡ 평면 IC 기술 : 1958 - 현재 ¡ 박막 (thin film) 증착 및 식각 ¡ 기판 (Substrate) 위의 불과 수 μm 에서 공정 (Flexible Device, ultra...
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This note was uploaded on 01/20/2010 for the course ME master taught by Professor Mon during the Spring '09 term at Hanyang University.

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