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Unformatted text preview: Luis Felipe Ariza Vesga Codigo: 200519082 Microsistemas Tarea No 2. Simulaciones cantiliver Team Nanotec LRCH‐750C0.2 El sistema de ejemplo modelado en el tutorial 2, consiste en un cantiliver de largo 275 ? , con un ancho de 1 ? , más una región de aire de 5 ? X320 ? y otra región de aire de dimensiones 45 ? X1 ? . Las graficas correspondientes son las siguientes: Luis Felipe Ariza Vesga Codigo: 200519082 Microsistemas Luis Felipe Ariza Vesga Codigo: 200519082 Microsistemas Luego de correr exitosamente el ejemplo se pide usar el cantiliver diseñado en el tutorial1 y en base a ese modelo, realizar cambios de materiales, separación entre el electrodo, variación de la altura y variación de la longitud del cantiliver en +-10% . La información de las graficas de desplazamiento vs voltaje aplicado esta dado de la siguiente forma: 5 ? cobre,-2.03um@3.6v, donde 5 ? corresponde a la separación entre el cantiléver y la tierra. -2.03 um, corresponde a la distancia máxima recorrida a el voltaje V_in aplicado de 3.6 voltios. Ademas en Medidas cantiliver 450x1.5um(100%), tenemos una amplitud de 450 um, con una altura de 1.5um, dentro del paréntesis se coloca el escalamiento de amplitud, es decir (110%) corresponde a un cantiléver con dimensiones 450*1.1 =495 um de amplitud por una altura fija de 1.5 um. Luis Felipe Ariza Vesga...
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