dbpia0743262[1] - < 연구논문 > 한국진공학회지...

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<< 연구논문 >> 한국진공학회지 제15권 4호, 2006년 7월, pp.427~433 * [ 전자우편 ] jeongsha@korea.ac.kr 고분자 공중합체와 알루미늄 양극 산화막 템플레이트를 이용한 나노점 배열 형성 박성찬 1 배창현 2 박승민 2 하정숙 1* 1 고려대학교 화공생명공학과 , 서울 136-701 2 경희대학교 화학과 , 서울 130-701 (2006 6 9 일 받음 ) 자발적인 미세상 분리에 의해 실린더형의 규칙적인 배열을 형성하는 고분자 공중합체와 알 루미늄의 양극산화에 의해 실린더형 기공 배열이 형성되는 알루미나 템플레이트를 이용하여 다양한 물질의 나노점 배열을 형성하였다 . 펄스형 레이저 기상 증착법을 이용하여 은 , 니켈 , 산화아연 , 실리콘 , 코발트 / 백금 나노점 배열을 얻었는데 , 나노점의 크기와 배열은 템플레이트 의 기공 크기와 배열을 보여주었다 . 이러한 템플레이트 기법을 이용하면 나노점의 밀도는 고 분자 공중합체와 알루미나의 경우 각각 6×10 11 / 2 1×10 10 / 2 이다 . 이중 에르븀이 도핑된 실리콘 나노점과 ZnO 나노점 배열은 PL 측정을 통하여 물질의 광학성질에 관해 알아보았다 . 에르븀이 도핑된 실리콘 나노점 배열은 1.54 에서 강한 빛을 내며 ZnO 나노점 배열은 380 에서 강한 PL 세기를 나타낸다 . 주제어 : 고분자 공중합체 , 알루미늄 양극 산화막 , 나노점 배열 , 펄스형 레이저 기상 증착법 . 서 많은 종류의 소자는 복잡한 구조를 가지지만 보통 의 경우 주기적인 배열만으로도 광전자 소자나 정보 저장 소자 , 센서 등의 응용 가능성이 매우 크다 .[1-2] 이러한 주기적 배열을 만드는 방법으로 최근에 많이 이용하는 것으로 고분자 공중합체와 알루미늄 양극 산화막을 들 수 있다 . 특히나 기존 반도체 공정으로 도달하기 힘든 나노 크기의 주기적 배열을 만드는데 용이하다는 점이 큰 장점이라 할 수 있다 . 고분자 공중합체는 두 가지 다른 고분자의 끝이 공 유결합으로 연결되어 있다 . 이러한 고분자 공중합체는 유리전이 온도 이상에서 자발적으로 미세상 (microphase) 분리가 일어나게 된다 . 이때 두 고분자의 조성비에 따라 평판형 , 실린더형 , 구형 등의 여러 형태를 가지 게 된다 . 또한 분자량과 조성비를 조절하여 수 ~ 수십 나노미터 단위로 쉽게 크기를 조절 할 수 있어 나노 점의 크기나 밀도의 조절이 용이하다 .[3-4] 알루미늄 양극 산화막은 전해질의 종류와 적정 전압 을 가해줌에 따라 공극의 크기와 산화막의 두께를 쉽 게 조절할 수 있다는 장점이 있다 .[5] 산화막과 알루 미늄을 분리한 후 산화막을 기판에 붙이면 다양한 증 착 방법을 이용하여 쉽게 나노점 배열을 형성할 수 있
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This note was uploaded on 05/25/2010 for the course MATERIALS chk87@goog taught by Professor Mrpaak during the Spring '10 term at 카이스트, 한국과학기술원.

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