E-5012-PROBLEMAS TIPO PARA EXAMEN FINAL-E-M-2009-parte-1

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Problemas tipo para la preparación del Examen final de Instrumentación Electrónica, parte 1. E-5012: Instructor: Dr. Graciano Dieck Assad 1. Un acelerómetro capacitivo usa una microviga depositada en un substrato de silicio por medios de fotolitografía. La figura muestra el sistema donde una fuente de voltaje con resistencia interna Rs alimenta la capacitancia formada por la microviga, formando un circuito RC serie (Rs y Ceq). Una relación de energía y desplazamiento nos puede ayudar a determinar la ecuación y sensitividad del sensor al medir fuerza y aceleración. También, la capacitancia equivalente para un desplazamiento de la microviga es: Donde W es la energía almacenada, V es el voltaje aplicado, A es el área transversal del dispositivo, d es la separación base (nominal) del capacitor en condiciones estables (F=0), δ es el desplazamiento de la microviga cuando se le impone una fuerza F, y ε o es la permitividad dieléctrica del vacío (=). a. Obtener una expresión que relacione la aceleración en función del desplazamiento de la microviga ( δ29. b. Suponer que el mínimo valor detectable para el cambio de energía, W, es , teniendo un voltaje V=10 Volts, una distancia de separación nominal d= 1 μ m, y un área transversal A= . Estimar el mínimo desplazamiento teórico detectable para la microviga, δ min, suponiendo éstos parámetros de cambio de energía, voltaje, separación nominal y área transversal. c.
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This note was uploaded on 10/01/2011 for the course INSTRUMENT SEM2 taught by Professor Dieck during the Spring '11 term at ITESM.

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