{[ promptMessage ]}

Bookmark it

{[ promptMessage ]}

Almaz-kirarutyun.2003.09 - 2003 29 9 12 06;12 E-mail...

Info icon This preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon
Письма в ЖТФ, 2003, том 29, вып. 9 12 мая 06;12 Использование тонких алмазных пленок для формирования интегральных схем © В.К. Белый, В.П. Варнин, С.А. Гаврилов, Э.А. Ильичев, Э.А. Полторацкий, Г.С. Рычков, И.Г. Теремецкая Федеральное государственное унитарное предприятие „Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина“, Москва Институт физической химии, Москва E-mail: [email protected] Поcтупило в Редакцию 16 декабря 2002 г. Рассмотрена технология, позволяющая на основе поликристаллических ал- мазных пленок создавать интегральные эмиссионные элементы типа вакуумных триодов. Технология включает три основных момента. Создание на поверхности кремниевой подложки тонкой алмазной пленки, проведение на основе алюми- ниевой маски литографии по этой пленке и, наконец, доращивание пленки в таком режиме, который обеспечивает ее эмиссионные свойства. Приводится конструкция эмиссионного триода, который может быть реализован на основе предлагаемой технологии. Алмазные поликристаллические и нанокристаллические плен- ки [ 1,2 ] , осаждаемые из газовой фазы, представляют значительный интерес для их применения в микро- и наноэлектронике. Здесь надо отметить уникальные свойства этих пленок, дающих возможность получать высокие значения вторичной и полевой эмиссии электронов. Эти свойства позволяют вновь вернуться к использованию принципов вакуумной электроники на уровне микро- и наноэлектроники, для чего необходимо научиться формировать локальные эмитирующие области микро- и наноразмеров. Настоящая работа и посвящена решению этой проблемы.
Image of page 1

Info icon This preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full Document Right Arrow Icon
Image of page 2
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

{[ snackBarMessage ]}

What students are saying

  • Left Quote Icon

    As a current student on this bumpy collegiate pathway, I stumbled upon Course Hero, where I can find study resources for nearly all my courses, get online help from tutors 24/7, and even share my old projects, papers, and lecture notes with other students.

    Student Picture

    Kiran Temple University Fox School of Business ‘17, Course Hero Intern

  • Left Quote Icon

    I cannot even describe how much Course Hero helped me this summer. It’s truly become something I can always rely on and help me. In the end, I was not only able to survive summer classes, but I was able to thrive thanks to Course Hero.

    Student Picture

    Dana University of Pennsylvania ‘17, Course Hero Intern

  • Left Quote Icon

    The ability to access any university’s resources through Course Hero proved invaluable in my case. I was behind on Tulane coursework and actually used UCLA’s materials to help me move forward and get everything together on time.

    Student Picture

    Jill Tulane University ‘16, Course Hero Intern