Atom-mikroskop-almaz.1999.05 - Письма в ЖТФ 1999...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 1999, том 25, вып. 5 12 марта 12 Атомно-силовой/туннельный микроскоп и его применение для исследования диэлектрического пробоя алмазной пленки на кремнии © А.В. Ермаков, В.К. Адамчук Научно-исследовательский институт физики С.-Петербургского государственного университета, Петродворец Поступило в Редакцию 12 августа 1997 г. В окончательной редакции 12 октября 1998 г. Реализована простая конструкция атомно-силового микроскопа, где сила взаи- модействия острия с поверхностью образца регистрируется непосредственно с помощью пьезокерамики X , Y , Z-манипулятора. Сигнал силы используется в качестве сигнала обратной связи при поддержании постоянным промежутка острие-поверхность, при этом одновременно регистрируется его электропровод- ность. Приводятся результаты модификации электропроводности тонкой алмазной пленки после электрического пробоя. Сканирующий туннельный микроскоп ( СТМ ) [ 1 ] и атомно-силовой микроскоп ( АСМ ) [ 2 ] в настоящее время получили признание как высокоэффективные средства для исследования поверхностных дефек- тов атомарного масштаба, однако каждый из них имеет свою, строго определенную сферу применения. Туннельные микроскопы, обладающие пространственным разреше- нием порядка 1 ˚ A в плоскости образца и порядка 0.05 ˚ A по нормали к поверхности, показывают исключительно высокую чувствительность к точечным дефектам на поверхности [ 3,4 ] . Однако в основе принципа работы СТМ лежит условие электропроводности поверхности и наличие диэлектрических участков на поверхности полностью исключает воз- можность использования этого прибора....
View Full Document

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 7

Atom-mikroskop-almaz.1999.05 - Письма в ЖТФ 1999...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online