DLC.PJTF.1998.04 - Письма в ЖТФ 1998 том 24...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 4 26 февраля 04;05;09;11 Формирование алмазоподобной фазы в условиях преимущественного осаждения неалмазного углерода в плазме газового СВЧ-разряда с электронным циклотронным резонансом © С.Ю. Суздальцев, С.В. Сысуев, Р.К. Яфаров Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал Поступило в Редакцию 7 мая 1997 г. Получены пленки с размерами кристаллитов порядка до 0.5 μ m. Представле- ны результаты комплексных исследований данных пленок. Изучение условий и механизма химического синтеза алмазных пле- нок при низких давлениях и температурах имеет важное прикладное и научное значение [ 1 ] . Актуальность этой задачи в последнее время многократно возросла в связи с интенсивным поиском иследователя- ми многих стран путей создания долговечных, высокостабильных и дешевых автоэлектронных эмиттеров для плоских дисплеев и при- боров вакуумной СВЧ-микроэлектроники. Одним из перспективных материалов в этом отношении представляется углерод, и в частности одна из его структурных модификаций — алмаз, в котором наиболее привлекательными являются сочетание рекордных значений различных физико-химических параметров и уникальные электронно-эмиссионные свойства. Целью настоящей работы было изучение закономерностей зарождения и роста алмазоподобной фазы углерода в других его ал- лотропных модификациях. Осаждение углеродных пленок осуществлялось на стеклянную под- ложку в установке, описанной в работе [ 2 ] . Исследовались зависимости плотности и характерных размеров кристаллитов на поверхности пленки от температуры подложки при различных давлениях паров этилового спирта и ускоряющих потенциалах на подложкодержателе. Детальноеспирта и ускоряющих потенциалах на подложкодержателе....
View Full Document

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 7

DLC.PJTF.1998.04 - Письма в ЖТФ 1998 том 24...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online