DLC.PJTF.1998.04 - 1998 24 4 26 04;05;09;11 7 1997 0.5...

Info icon This preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon
Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 4 26 февраля 04;05;09;11 Формирование алмазоподобной фазы в условиях преимущественного осаждения неалмазного углерода в плазме газового СВЧ-разряда с электронным циклотронным резонансом © С.Ю. Суздальцев, С.В. Сысуев, Р.К. Яфаров Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал Поступило в Редакцию 7 мая 1997 г. Получены пленки с размерами кристаллитов порядка до 0.5 μ m. Представле- ны результаты комплексных исследований данных пленок. Изучение условий и механизма химического синтеза алмазных пле- нок при низких давлениях и температурах имеет важное прикладное и научное значение [ 1 ] . Актуальность этой задачи в последнее время многократно возросла в связи с интенсивным поиском иследователя- ми многих стран путей создания долговечных, высокостабильных и дешевых автоэлектронных эмиттеров для плоских дисплеев и при- боров вакуумной СВЧ-микроэлектроники. Одним из перспективных материалов в этом отношении представляется углерод, и в частности одна из его структурных модификаций — алмаз, в котором наиболее привлекательными являются сочетание рекордных значений различных физико-химических параметров и уникальные электронно-эмиссионные свойства. Целью настоящей работы было изучение закономерностей зарождения и роста алмазоподобной фазы углерода в других его ал- лотропных модификациях. Осаждение углеродных пленок осуществлялось на стеклянную под- ложку в установке, описанной в работе [ 2 ] . Исследовались зависимости плотности и характерных размеров кристаллитов на поверхности пленки от температуры подложки при различных давлениях паров этилового спирта и ускоряющих потенциалах на подложкодержателе. Детальное
Image of page 1

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full Document Right Arrow Icon
Image of page 2
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

{[ snackBarMessage ]}

What students are saying

  • Left Quote Icon

    As a current student on this bumpy collegiate pathway, I stumbled upon Course Hero, where I can find study resources for nearly all my courses, get online help from tutors 24/7, and even share my old projects, papers, and lecture notes with other students.

    Student Picture

    Kiran Temple University Fox School of Business ‘17, Course Hero Intern

  • Left Quote Icon

    I cannot even describe how much Course Hero helped me this summer. It’s truly become something I can always rely on and help me. In the end, I was not only able to survive summer classes, but I was able to thrive thanks to Course Hero.

    Student Picture

    Dana University of Pennsylvania ‘17, Course Hero Intern

  • Left Quote Icon

    The ability to access any university’s resources through Course Hero proved invaluable in my case. I was behind on Tulane coursework and actually used UCLA’s materials to help me move forward and get everything together on time.

    Student Picture

    Jill Tulane University ‘16, Course Hero Intern