DLC-azot.PJTF.1998.10 - Письма в ЖТФ, 1998,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 10 26 мая 02;05;11;12 Влияние азота на оптические и механические свойства алмазоподобных углеродных пленок © Н.И. Клюй Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев Поступило в Редакцию 3 декабря 1997 г. Исследованы оптические и механические свойства алмазоподобных углерод- ных пленок, полученных методом плазмохимического осаждения, в зависимости от содержания азота в газовой смеси. Немонотонный характер изменения опти- ческой ширины запрещенной зоны и микротвердости пленок интерпретируется в рамках модели, учитывающей влияние азота на их структуру. Показана перспективность использования азотосодержащих алмазоподобных углеродных пленок в качестве защитных и просветляющих покрытий для кремниевых солнечных элементов. Большой интерес исследованию алмазоподобных пленок углерода ( АППУ ) обусловлен их перспективностью для применения в качестве защитных и просветляющих покрытий в приборах современной опто- электроники [ 1,2 ] . С другой стороны, АППУ могут использоваться для снижения работы выхода полевых эмиттеров [ 3 ] , разработки светоизлу- чающих структур [ 4 ] , модификации свойств пористого кремния [ 5 ] и т. д. Свойства АППУ могут изменяться в широких пределах при изменении условий осаждения. В методе плазмохимического осаждения ( CVD ) , наиболее широко используемом для нанесения АППУ, одним из таких параметров является состав газа в реакционной камере. При этом в ряде работ было показано, что существенное влияние на свойства АППУ оказывает азот при его добавлении в газовую смесь даже в небольших количествах [ 6,7 ] . В то же время вследствие использования различных методов и режимов осаждения механизм влияния азота на свойства...
View Full Document

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 6

DLC-azot.PJTF.1998.10 - Письма в ЖТФ, 1998,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online