DLC-Cu.PJTF.1998.20 - Письма в ЖТФ, 1998, том...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 20 26 октября 11;12 Исследование поверхности пленок алмазоподобного углерода, легированного медью © В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург Институт аналитического приборостроения РАН, С.-Петербург Поступило в Редакцию 25 марта 1998 г. Сообщается об исследовании поверхности слоев алмазоподобного углерода, легированного медью, методами сканирующей туннельной микроскопии и спек- троскопии. Обнаружено, что введение меди модифицирует как микроструктуру, так и электронные свойства слоев. Интерес к пленкам аморфного гидрированного углерода ( a-C: H ) , называемого иногда алмазоподобным, ( a-C: H ) в первую очередь связан с их уникальными свойствами как универсального покрытия [ 1 ] . Од- нако в последнее время привлекли к себе внимание их эмиссионные свойства, в том числе при их легировании, приводящем к заметной полевой эмиссии при сравнительно небольшой величине электрического поля E ∼ 10 4 V/cm [ 2 ] . Целью работы было исследование микротопографии и локальной электронной эмиссии слоев a-C: H, легированного медью. Слои a-C:H формировались на подложках Si ( 111 ) , на которые методом магнетронного распыления наносился хромовый буферный подслой толщиной 1.5 μ m для уверенного захвата туннельного тока при последующем исследовании поверхности методом сканирующей туннельной микроскопии ( СТМ ) . На подготовленные таким образом подложки после их обезгаживания в ростовой камере при температуре T = 200 ◦ C при давлении 10- 6 Torr производилось осаждение слоев a-C: H: Cu методом магнетронного сораспыления графитовой и медной мишеней в аргоноводородной плазме...
View Full Document

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 7

DLC-Cu.PJTF.1998.20 - Письма в ЖТФ, 1998, том...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online