DLC-legiracia.2002.14 - Письма в ЖТФ, 2002,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 2002, том 28, вып. 14 26 июля 06;11 Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных пленок © С.В. Симонов, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН E-mail: pirpс@renet.ru Поступило в Редакцию 19 февраля 2002 г. Показано влияние легирования кадмием и низкоэнергетичной обработки в аргоновой плазме на эмиссионную способность углеродных пленок, полученных в микроволновой плазме газового разряда. Получены токи эмиссии с плотно- стью 0.3 A/cm 2 при напряженности электрического поля в зазоре до 7 B/ μ m. В настоящее время одной из актуальных задач является получение нанокристаллических углеродных пленочных материалов различных аллотропных модификаций, обладающих широким спектром электро- физических свойств. Актуальность задачи связана с интенсивным по- иском исследователями многих стран путей создания низковольтных и высокостабильных автоэлектронных эмиттеров для плоских дисплеев и приборов вакуумной СВЧ-микроэлектроники. Известно, что суще- ственную роль в уменьшении порога электронной эмиссии играют не только топографическое усиление электрического поля на поверхности таких пленок, но и свойства наноструктурного материала, такие как электропроводность и отрицательное электронное сродство ( ОЭС ) , ко- торое характерно для многих широкозонных полупроводников, и алмаза в частности [ 1 ] . Большое значение имеет модификация электронной конфигурации и свойств приповерхностных слоев атомов углерода, входящих в состав нанокристаллических пленок. На это указывает, в частности, аномально низковольтная электронная эмиссия из „откры- тых“ углеродных нанотрубок, имеющих графитовый тип структуры...
View Full Document

Page1 / 5

DLC-legiracia.2002.14 - Письма в ЖТФ, 2002,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online