DLC-N.2005.06 - , 2005, 31, . 6 26 07 a-C N . , . , . , . ,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon
Письма в ЖТФ, 2005, том 31, вып. 6 26 марта 07 Электронные и оптические свойства аморфных пленок a -C h N i с гранулированной структурой © В.Н. Варюхин, Т.А. Дьяченко, В.Д. Окунев, Н.Н. Пафомов, А.Л. Плехов, Е.И. Шемченко Донецкий физико-технический институт НАН Украины E-mail: okunev@mail.fti.ac.donetsk.ua Поступило в Редакцию 12 октября 2004 г. Исследованы углеродные аморфные пленки a -C h N i , полученные методом магнетронного распыления графитовой мишени в атмосфере азота с темпе- ратурными зависимостями электропроводности ( ln σ T 1 / 2 при T < 280K ) , характерными для гранулированных систем. Из измерений термо-ЭДС, прово- димости и оптического поглощения сделан вывод о том, что гранулированная структура пленок обусловлена наличием в углеродной ( С ) графитоподобной матрице кластеров с металлической проводимостью нанометрового размера, образующихся на основе γ -углерода. Их концентрация экспоненциально увели- чивается с ростом температуры осаждения. Углеродные пленки благодаря сочетанию уникальных свойств при- влекают пристальное внимание исследователей [ 1 ] . Одно из перспек- тивных направлений связано с изучением алмазоподобных пленок, легированных азотом, где усилия сконцентрированы на возможности создания технологии покрытий β -C 3 N 4 [ 2 4 ] . В проблеме алмазоподобных пленок выделяются работы по фор- мированию системы кластеров с металлической проводимостью в диэлектрической матрице, представляющих интерес для наноэлектро- ники [ 5,6 ] . При этом широко используется тенденция к кластериза- ции атомов ( C ) с одинаковым типом координации ( с sp 3 -, sp 2 sp -гибридными состояниями )[ 7,8 ] . При наличии цепочечных, плоских и алмазоподобных структурных фрагментов углеродная основа пленок
Background image of page 1

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
Image of page 2
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 8

DLC-N.2005.06 - , 2005, 31, . 6 26 07 a-C N . , . , . , . ,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online