Grafit-uglerod.2002.23 - Письма в ЖТФ, 2002,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Unformatted text preview: Письма в ЖТФ, 2002, том 28, вып. 23 12 декабря 04;11;12 Влияние микротопографии и режима осаждения на автоэмиссионные свойства графитоподобных углеродных пленок © С.А. Карасев, С.В. Симонов, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН E-mail: [email protected] Поступило в Редакцию 13 марта 2002 г. Установлены электротехнологические факторы, обеспечивающие управление процессами формирования микротопографии поверхности графитоподобных уг- леродных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда паров этанола. Показано влияние режимов осаждения и величины шероховатости на электропроводность и эмиссионную способность таких пленок. Получены токи эмиссии с графитоподобных пленок с плотностью 0.3 A/cm 2 при напряженности электрического поля в зазоре 7 V/ μ m. В настоящее время одной из актуальных задач является получение нанокристаллических углеродных пленочных материалов различного структурного состава для использования в качестве катодов на основе автоэлектронной эмиссии для плоских дисплеев и приборов вакуумной СВЧ-микроэлектроники [ 1 ] . Перспективность использования углерод- ных материалов в качестве катодов обусловлена устойчивостью к бомбардировке ионами остаточных газов, имеющих место в приборах, работающих в условиях технического вакуума и высоковольтного питания, а также возможностью снижения работы выхода электронов при определенных структурных модификациях, характерных как для алмазного типа гибридизации связей валентных электронов атомов углерода, так и для углеродных нанотрубок с графитовым типом структуры [ 2,3 ] ....
View Full Document

This note was uploaded on 03/18/2012 for the course PHYSICS 303 taught by Professor Ihn during the Spring '12 term at Swiss Federal Institute of Technology Zurich.

Page1 / 5

Grafit-uglerod.2002.23 - Письма в ЖТФ, 2002,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online