Nanostr.PJTF.1998.15 - , 1998, 24, 15 12 06.2;11;12 . , . ,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon
Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 15 12 августа 06.2;11;12 Наноструктура и радиационная стойкость углеродных перезарядных пленок © А.В. Васин, В.Г. Высоцкий, Л.А. Матвеева Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев Поступило в Редакцию 17 февраля 1998 г. Методом комбинационного рассеяния света анализировалась структура ближ- него порядка углеродных перезарядных мишеней. Показано, что радиационная стойкость пленок сильно зависит от их наноструктуры. Обнаружено, что под воздействием пучка ионов водорода 2MeV сажеподобные пленки значительно более долговечны, чем пленки с графитообразной наноструктурой. Самоподдерживающиеся аморфные углеродные пленки толщиной 25–100 nm испольуются в перезарядных электростатических ускорите- лях ( тандемах ) для ”обдирки” отрицательно заряженных ионов. В угле- родных стрипперах перезарядка ионов происходит более эффективно, чем в газовых мишенях, что приводит к увеличению энергии поло- жительных ионов на выходе ускорителя. Однако существует проблема радиационной стойкости углеродных пленок. Считается установленным [ 1–4 ] , что разрушение перезарядных пле- нок под воздействием пучка ионов связано с их графитизацией и обра- зованием напряжений в зоне облучения. Обычно пленки, напыленные вакуум-термическими методами, имеют текстуру графитообразных кла- стеров с базисными плоскостями ( 002 ) , параллельными подложке. Из- за радиационных дефектов в графитизированных областях происходит ”распухание” в направлении, перпендикулярном плоскости пленки, и сжатиие вдоль ее поверхности [ 2–4 ] . Это приводит к возникновению и накоплению механических напряжений в стриппере. При их реализации образуются трещины, которые делают невозможной дальнейшую работу
Background image of page 1

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
Image of page 2
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Page1 / 6

Nanostr.PJTF.1998.15 - , 1998, 24, 15 12 06.2;11;12 . , . ,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online