New metod.PJTF.1998.10 - , 1998, 24, 10 26 03;11;12 . , . ,...

Info iconThis preview shows pages 1–2. Sign up to view the full content.

View Full Document Right Arrow Icon
Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 10 26 мая 03;11;12 Новый метод формирования тонких пленок © М.А. Ходорковский, А.Л. Шахмин, С.В. Мурашов, А.М. Алексеев, Ю.А. Голод, А.Н. Федоров Российский научный центр ”Прикладная химия” С.-Петербургский Объединенный исследовательский центр ( ЦКП ) Поступило в Редакцию 10 октября 1997 г. Предлагается новый метод нанесения тонких пленок с помощью импульсного сверхзвукового молекулярного пучка, обогащенного молекулами напыляемого материала, и проведено сравнение возможностей этого метода с традиционным. На примере уникальных свойств тонких пленок фуллерена, полученных экспе- риментально с помощью этого метода, делаются выводы о перспективах его использования для нанесения пленок различных материалов. При описании процессов адсорбции в литературе практически от- сутствует учет кинетической и колебательно-вращательной энергий налетающей молекулы. Это обстоятельство связано с традиционно используемыми методами формирования газовой фазы, применяемой в процессах нанесения тонких пленок и эпитаксиальных слоев, где энергия адсорбируемых атомов и молекул определяется температурой испарения исходных материалов и не превышает 0.2–0.3 eV. В то же время энергия связи адсорбируемых молекул с поверхностью и между собой во многом определяется их энергетическими параметрами [ 1 ] . В настоящее время начинают развиваться методы формирования тонких пленок, в которых кинетическая энергия адсорбируемых молекул может достигать несколь- ких десятков электрон-вольт [ 2 ] . Одним из многообещающих является
Background image of page 1

Info iconThis preview has intentionally blurred sections. Sign up to view the full version.

View Full DocumentRight Arrow Icon
Image of page 2
This is the end of the preview. Sign up to access the rest of the document.

Page1 / 4

New metod.PJTF.1998.10 - , 1998, 24, 10 26 03;11;12 . , . ,...

This preview shows document pages 1 - 2. Sign up to view the full document.

View Full Document Right Arrow Icon
Ask a homework question - tutors are online